ẢNH HƯỞNG CỦA THIÊN ÁP ĐẾ ĐẾN CHIỀU DÀY VÀ ĐỘ CỨNG CỦA LỚP MÀNG TiN ĐƯỢC TẠO BẰNG CÔNG NGHỆ HỒ QUANG

Tóm tắt

Nghiên cứu này nhằm mục đích khảo sát ảnh hưởng của hiệu điện thế bias
đối với chiều dày và độ cứng của lớp phủ TiN được phủ lên mặt hợp kim SKD61 và
Silic. Độ dày của các lớp phủ được phát hiện bằng cách kiểm tra hình ảnh của
kính hiển vi quang học trên mặt cắt ngang. Thử nghiệm độ cứng của Vicker được
thực hiện tại bốn điểm ngẫu nhiên đối với đầu đo hợp kim zirconium. Lớp phủ
TiN hợp kim SKD61 có độ cứng lớn nhất 2620HV đạt được ở hiệu điện thế bias là
-300V và độ dày khoảng 1,96 micormet đã đạt được ở hiệu điện thế bias là -100V.