Bộ phát sóng siêu âm vi cơ điện dung pôlyme dùng cho xác định độ nhám bề mặt

Tóm tắt

Trong bài báo này, bộ phát sóng siêu âm vi cơ điện dung sử dụng vật liệu
pôlyme (CMUT) được phát triển để đo độ nhám bề mặt vật liệu. Bộ phát
sóng được thiết kế có thể đánh giá được độ nhám bề mặt ở năm chế độ khác
nhau: toàn bộ phát / toàn bộ thu, đa số phát / đa số thu, đa số phát / thiểu số
thu, thiểu số phát / đa số thu, thiểu số phát / thiểu số thu. Các thí nghiệm chỉ
ra rằng chế độ toàn bộ phát / toàn bộ thu có đầu ra tín hiệu lớn nhất và chế
độ thiểu số phát / đa số thu có được tín hiệu tốt với hiệu suất cao hơn. Kết
quả cho thấy bộ phát sóng siêu âm có thể xác định độ nhám bề mặt của giấy
nhám với độ nhám bề mặt Rrms dao động từ 11,4μm đến 179,8μm.