Ảnh hưởng của chiều dày màng lên đặc trưng đảo điện trở thuận nghịch của màng mỏng CrOx

Tóm tắt

Trong công trình này chúng tôi đã khảo sát ảnh hưởng của chiều dày màng lên cấu trúc, hình thái học và tính chất đảo điện trở thuận nghịch của màng mỏng CrO_x  được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron cao áp một chiều (Dc-sputtering). Các kết quả khảo sát phổ tán xạ Raman và phổ dao động hồng ngoại FTIR cho thấy màng mỏng CrO_x  lắng đọng ở nhiệt độ phòng có thành phần hợp thức đa pha, gồm Cr₂O₃, CrO₂, Cr₈O₂₁... Khi chiều  dày màng mỏng CrO_x thay đổi từ 30 nm đến 500 nm, cường độ các đỉnh dao động liên quan đến pha Cr₂O₃ tăng lên đáng kể,chứng tỏ có sự ưu tiên phát triển pha bền Cr₂O₃ so với các pha khác. Kết quả FESEM xác nhận hình thái học của màng mỏng CrO_x có mật độ lỗ xốp giảm và xếp chặt hơn khi chiều dày của màng tăng. Đặc trưng đảo điện trở của các màng mỏng CrO_x khác nhau về chiều dày trong cấu trúc  Ag/CrO_x/FTO đều thể hiện dạng lưỡng cực. Tỷ số đảo điện trở đạt giá trị cao nhất ở màng CrO_x dày 100 nm và có xu hướng giảm khi chiều dày màng mỏng CrO_x tăng.