TÁI TẠO BIÊN DẠNG BỀ MẶT CHI TIẾT QUANG-CƠ VỚI GIAO THOA ÁNH SÁNG TRẮNG BẰNG MÔ HÌNH HỌC SÂU U-NET

Tóm tắt

Nghiên cứu này đề xuất một phương pháp để xác định chính xác vị trí đỉnh của tín hiệu giao thoa trong giao thoa ánh sáng trắng. Qua đó nâng cao độ chính xác cũng như độ phân giải của phép đo, ứng dụng trong đo lường chính xác và tái tạo vi cấu trúc ba chiều bề mặt chi tiết quang cơ. Bằng việc sử dụng thuật toán học sâu với kiến trúc mạng nơron U-net để đưa ra tín hiệu dự đoán sát với tín hiệu chuẩn nhất, kết hợp với biến đổi nhanh Fourier để lọc nhiễu và làm khớp với hàm số đề xuất, vị trí chính xác của đỉnh đường bao tín hiệu được xác định từ đó đưa ra thông tin về độ cao của điểm. Phương pháp này có thể đạt độ chính xác cỡ 0,9 nanomet ở mức nhiễu 50 dB, độ chính xác tăng hơn 40% ở các mức nhiễu so với phương pháp biến đổi Fourier truyền thống. Các vấn đề còn tồn tại của phương pháp biến đổi Fourier truyền thống trước đây như việc xác định vị trí đỉnh của tín hiệu giao thoa tại một vị trí, độ chính xác còn bị ảnh hưởng nhiều bởi
nhiễu và tín hiệu làm khớp được khắc phục một cách hiệu quả và rõ rệt.