PHÁT TRIÊN CƠ CÂU CHÂP HÀNH QUAY SỬ DỤNG PHÂN TỬ ÁP ĐIÊN

Tóm tắt

Bài báo giới thiệu một cơ cấu định vị chính xác cao 2 DOF (Degree Of Freedom – bâc tự do) cung cấp chuyên động phăng dọc theo truc X và chuyên động quay quanh truc Z ở ti lệ nano. Chuyên động quay được điều khiển theo cả 2 chiều: chiều kim đồng hồ và chiều ngược lại. Cơ cấu được thiết kế dựa trên nguyên lý sử dụng các khớp bản lê đàn hồi và hai phần tử áp điện (piezoelectric) làm nguồn phát chuyên động. Cơ cấu dẫn động dạng xung nhỏ (Smooth Impact Driving Mechanism – SIDM) đươc áp dụng để tạo ra chuyển động quay. Phép phân tích phần tử hữu hạn thông qua phần mêm thương mại ANSYS đươc áp dụng để đánh giá cơ cấu định vị. Một cơ cấu định vị mẫu đã đươc chế tạo và tiến hành hàng loạt thí nghiệm đê đánh giá tính năng của cơ cấu theo thời gian. Kết quả thực nghiệm cho thấy cơ cấu này có thê thực hiện góc quay 0,110.
Tư khóa: phần tử ap điên, cơ cấu định vị quay, cơ cấu chấp hanh quay.