PHÁT TRIỂN CẢM BIẾN SIÊU ÂM ĐIỆN DUNG POLYME LÀM GIẢM TẦN SỐ CỘNG HƯỞNG TỰ NHIÊN

Tóm tắt

Mục đích của nghiên cứu này là làm giảm chiều cao của thành và độ dày của
màng rung để giảm tần số cộng hưởng tự nhiên của cảm biến siêu âm điện dung. Do tần số cộng hưởng tự nhiên giảm, khoảng cách truyền sóng sẽ được cải thiện, làm giảm tiêu hao năng lượng và tăng hiệu suất truyền sóng. Cảm biến được thiết kế theo kiểu mảng 4x2, mỗi cảm biến thành phần có 16 màng dao động với chiều cao của thành bên là 1µm, màng dao động có đường kính và độ dày là 600µm và 3µm. Với thiết kế dạng mảng như vậy, cảm biến có thể tạo thành cảm biến bốn góc phần tư và được sử dụng để phát hiện vị trí ba chiều. Trong tương lai, cảm biến sẽ tiếp tục nghiên cứu sâu hơn để có thể ứng dụng trong hệ thống phát hiện 3D.